Клучни материјали што се користат во распрскувачките мети за тенкофилмни премази

Процесот на распрскување испарува изворен материјал, наречен цел, за да се нанесе тенок, високо-перформансен филм врз производи како полупроводници, стакло и дисплеи. Составот на целта директно ги дефинира својствата на облогата, што го прави изборот на материјал клучен.

Се користи широк спектар на метали, секој избран според специфични функционални предности:

Основни метали за електроника и меѓуслојни елементи

Бакарот со висока чистота е ценет поради неговата исклучителна електрична спроводливост. Цели од 99,9995% чист бакар се неопходни за создавање на микроскопски жици (меѓуврски) во напредните микрочипови, каде што минималниот електричен отпор е од најголема важност за брзина и ефикасност.

Никелот со висока чистота служи како разноврсна работна сила. Првенствено се користи како одличен слој за адхезија и сигурна дифузна бариера, спречувајќи мешање на различни материјали и обезбедувајќи структурен интегритет и долговечност на повеќеслојните уреди.

Огноотпорните метали како волфрам (W) и молибден (Mo) се ценети поради нивната висока отпорност на топлина и стабилност, често се користат како робусни дифузни бариери и за контакти во тешки услови.

Специјализирани функционални метали

Среброто со висока чистота нуди највисока електрична и топлинска спроводливост од кој било метал. Ова го прави идеално за нанесување високоспроводливи, транспарентни електроди на екрани на допир и брилијантно рефлектирачки премази со ниска емисија на прозорци за заштеда на енергија.

Скапоцени метали како што се златото (Au) и платината (Pt) се користат за високо сигурни, отпорни на корозија електрични контакти и во специјализирани сензори.

Транзиционите метали како титаниум (Ti) и тантал (Ta) се клучни за нивната одлична адхезија и бариерни својства, честопати формирајќи го основниот слој на подлогата пред да се нанесат други материјали.

Иако овој разновиден материјален комплет овозможува модерна технологија, перформансите на бакарот за спроводливост, никелот за сигурност и среброто за врвна рефлективност остануваат неспоредливи во нивните соодветни примени. Доследниот квалитет на овие метали со висока чистота е основа на високо-перформансните тенкофилмски премази.